高純氣體如何安全供氣？為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時(shí)突遇雷電阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器?？扇?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測口，以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。
高純氣體(High Purity Gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對于氫，氮，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對于碳?xì)浠衔铮兌葹?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮，氫，氦可作為運(yùn)載氣，保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體，和無機(jī)高純氣體。
1、烷烴類：（CH4）、C2H6）、丙烷（C3H8）、（cyc-C3H6）、正丁烷（n-C4H10）、異丁烷（i-C4H10）、正戊烷（n-C5H12)、新戊烷（neo-C5H12）、（CH3Cl）、（C2H5Cl）、（CHF3）、（C2H4O）、（AsH3）、（PH3）、（B2H6）、（SiH4）等。
2、烯烴類：（C2H4）、（C3H6）、丙二烯（C3H4==）、1-丁烯（1-C4H8）、異丁烯（i-C4H8)、反-2-丁烯（t-2-C4H8）、順-2-丁烯（c-2-C4H8）、1.2-丁二烯（1.2-C4H6）、1.3-丁二烯（1.3-C4H6）、（C2H3Cl）等；
3、炔烴類：（C2H2）、1-丁炔（1-C4H6）、2-丁炔（2-C4H6）、（C3H4）、（C4H4=≡）等；
4、其他：（C2H6O）、甲硫醇（CH4S）、熏蒸劑（C2H4O-CO2)等。
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